Наверх
E-mail: info@newstyle-y.ru
Ярославль, пр. Ленина, 15

Комбинированное решение Raman/AFM AIST OmegaScope

Артикул: HB-28

Комбинированное решение Raman/AFM AIST OmegaScope

Цена: предоставляется по запросу

Задать вопрос по оборудованию

Комбинированное решение СЗМ + рамановский/флюоресцентный микроспектрометр имеет общее название OmegaScope и фактически заключает в себе целое семейство различных исследовательских инструментов. Возможность максимально гибкого конфигурирования, удобное управление, максимальная автоматизация и гарантируемый режим зондового усиления (TERS) делают прибор OmegaScope уникальным инструментом для решения широкого класса задач нано-спектроскопии.

raman-afm-aist-horiba

В приборе OmegaScope впервые в мире:

  • Реализован максимально широкий оптический доступ к зонду и образцу с возможностью подводить возбуждающее излучение и собирать рассеянный свет по 3 различным оптическим каналам;
  • Развязаны оптические пути рамановского сигнала и лазера системы регистрации микроскопа, что позволяет избежать искусственного сужения рабочего спектрального диапазона при комбинированных измерения;
  • Разработан дополнительный сканер объектива для точного совмещения кончика зонда СЗМ и фокальной области возбуждающего лазера;
  • Предусмотрены специальные аппаратные и программные методики для синхронизации комбинированных СЗМ/Раман измерений и максимизации зондового усиления (TERS-эффект);
  • Установлен инфракрасный лазер системы регистрации отклонений кантилевера, используемой при атомно-силовых измерениях, что позволяет работать с фоточувствительными образцами и не опасаться паразитной засветки детектора.                                                                                                                                                                                                                       

    Оптический доступ к зонду и образцу
    Наличие одновременного оптического доступа к зонду и к образцу сверху, снизу, и сбоку через высокоапертурные объективы-планапохроматы позволяет воздействовать на образец лазером с заданной поляризацией и максимально эффективно (с максимально возможной апертурой) собирать рассеянный свет с поверхности образца, что особенно важно для проведения экспериментов с со слабым сигналом, и для нано-спектроскопических измерений с зондовым усилением (TERS).

    Регистрирующая система с ИК лазером
    В приборе OmegaScope установлен инфракрасный лазер системы регистрации отклонений кантилевера, что позволяет работать с фоточувствительными образцами и не опасаться паразитной засветки спектрального детектора. В оптическом микроскопе лазер системы регистрации не виден, что облегчает визуальный контроль области сканирования.

    Развязка оптических путей рамановского лазера и лазера системы регистрации
    В приборе OmegaScope развязаны оптические пути рамановского сигнала и лазера системы регистрации микроскопа, что позволяет избежать искусственного сужения рабочего спектрального диапазона при комбинированных измерения.

    Сканер объектива
    В приборе OmegaScope для точного выставления положения фокуса объектива микроскопа вблизи кончика СЗМ зонда используется специальный пьезо-сканер объектива собственной разработки AIST-NT с датчиками обратной связи. Сканер управляется общим контроллером и ПО прибора.

    Автоматизация
    Автоматическая настройка регистрирующей системы освобождает пользователя от рутинных операций, а также обеспечивает повторяемость настроек вне зависимости от его опыта. Моторизация позиционирования образца в горизонтальной плоскости позволяет пользователю легко находить область, в которой необходимо производить сканирование. В автоматическом режиме пользователю необходимо лишь указать основные параметры зонда и поле сканирования для того, чтобы программа произвела полную настройку системы, подвела зонд к поверхности образца и начала сканирование. Автоматизация также позволяет быстро настроить прибор для измерений с зондовым усилением (TERS).

    Механическая и акустическая стабильность
    Благодаря уникальной конструкции прибора OmegaScope даже в ходе длительных многочасовых экспериментов настройка оптической части прибора остается стабильной, что позволяет работать с очень слабыми оптическими (спектральными) сигналами и проводить успешные нано-спектроскопические эксперименты.

    Легкость и удобство замены зонда и образца
    Специальная запатентованная конструкция держателей зонда и образца прибора AIST OmegaScope позволяет легко и быстро заменить зонд не трогая образец, и заменить образец не касаясь зонда и не нарушая оптических настроек прибора, что особенно важно при сложных нано-спектроскопических измерениях. После замены новый зонд встает в прежнее положение с точностью нескольких микрон.

    Высокоскоростное сканирование
    Быстрый сканер образца с очень высокими резонансными частотами позволяет проводить сканирование на скоростях до 10 раз выше по сравнению с большинством микроскопов на рынке. Малая нелинейность и низкие шумы датчиков обратной связи позволяют использовать сканер для метрологических приложений. Высокая стабильность в сочетании с высокочастотным сканером позволяет получать атомарное разрешение на сканере с максимальным полем 100 мкм. Термокомпенсация сканера обеспечивает получение низких тепловых дрейфов.

    Улучшенный алгоритм контроля обратной связи и фазовой задержки
    Данный алгоритм позволяет осуществлять сканирование с более высокой скоростью без перескоков и проблем с генерацией сканера, устраняет искажения изображения и ошибки при зуммировании. Существенно уменьшает время установления сигнала на скачок по X, Y и Z направлениям, а также снижает ошибку отставания по фазе в сотни раз вдоль оси X и Y.

    Модульный цифровой контроллер
    Модульный дизайн контроллера обеспечивает возможность расширения и адаптации контроллера в соответствии с задачами пользователя, а также проведение обновления ПО и прошивок. Высокоскоростной DSP обеспечивает синтез полностью цифровых обратных связей по трем осям с возможностью расширения до 9 каналов управления для обеспечения интеграции с другими методиками измерений, в том числе для управления сканером объектива. Имеется возможность подачи модуляции на зонд и X, Y и Z оси сканеров. Наличие выхода напряжения смещения. Цифровые входы/выходы и аналоговые входы для интеграции с внешними устройствами.

    Измерительные методики
    В приборе OmegaScope поддерживается контактная и полуконтактная атомно-силовая микроскопия (АСМ), бесконтактная АСМ, метод фазового контраста, микроскопия латеральных сил, динамическая силовая микроскопия, магнитно-силовая микроскопия, методика зонда Кельвина, сканирующая емкостная микроскопия, электросиловая микроскопия, микроскопия пьезоотклика, силовая спектроскопия, нанолитография и наноманипуляции, туннельная микроскопия, микроскопия токов растекания, измерение вольт-амперных характеристик, микроскопия поверхностных сдвиговых сил, ближнепольная оптическая микроскопия в различных вариантах возбуждения и сбора. Также отдельно реализованы специальные методики для нано-спектроскопических измерений, позволяющие синхронизировать снятие с поверхности образца зондовых и спектральных данных, что крайне важно при работе в режиме зондового усиления (TERS).

    Параметры Значения

    АСМ головка:

    Длина волны лазера, нм

    1300

    Шум регистрирующей системы, нм

    < 0,1

    Оптический доступ:

    Верхний объектив макс.

    100х, NA = 0,7

    Нижний объектив макс.

    100х, NA = 1,4 (иммерсионный)

    Боковой объектив макс.

    50х, NA = 0,5

    Контроллер:

    Количество синхронных детекторов

    2

    Цифровой генератор
    – количество, шт.
    – разрядность, бит
    – диапазон, МГц


    6
    32
    до 5

    Частота ЦСП, МГц

    300

    Интерфейс

    USB 2.0

    АЦП
    – частота, кГц
    – разрядность, бит
    – количество каналов


    500
    18
    20

    Высоковольтные усилители
    – напряжение, В
    – шум, ppm


    -5…+120
    не более 0,4

    Напряжение смещения (AC, DC), В

    -10…+10

    Напряжение смещения в режиме электрической нанолитографии, В

    -50…+50

    Частотный диапазон напряжения, МГц

    0 ÷ 2

    Сканер образца:

    Диапазон сканирования, мкм

    100 x 100 x 15 (±10%)

    Нелинейность по осям XY, %

    не более 0,04

    Нелинейность по оси Z, %

    не более 0,04

    Шумы (СКО), нм
    – по XY в полосе 200 Гц с включенными датчиками
    – по XY в полосе 100 Гц с выключенными датчиками
    – шумы датчика Z в полосе 1000 Гц


    0,1
    0,02
    < 0,04

    Цифровая обратная связь

    по осям X, Y и Z

    Резонансная частота по XY, без нагрузки, кГц

    7

    Резонансная частота по Z, без нагрузки, кГц

    15

    Моторизованное позиционирование образца
    – диапазон, мм
    – разрешение, мкм


    5
    1

    Сканер объектива:

    Диапазон сканирования, мкм

    30 x 30 x 15 (±5%)

    Цифровая обратная связь

    по осям X, Y и Z

    Пространственное разрешение:

    В полуконтакной АСМ, нм

    < 1

    В нано-спектроскопии, нм

    < 10

Задать вопрос

Нажимая кнопку «Отправить», вы даете согласие на обработку своих персональных данных